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    上海衡鹏实业有限公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:外资企业
    成立时间:
  • 公司地址: 上海市 徐汇区 上海市徐汇区田州路159号莲花大厦3楼B座
  • 姓名: 陈静静
  • 认证: 手机未认证 身份证未认证 微信未绑定

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半自动晶圆减薄真空非接触贴膜机ATW-08

时间:2020-09-08点击次数:20

半自动晶圆减薄真空非接触贴膜机ATW-08



半自动晶圆减薄真空非接触贴膜机ATW-08性能
晶圆收益     ≥99.9%;
贴膜质量     没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能   ≥80片晶圆;
更换产品时间 ≤5分钟



半自动晶圆减薄真空非接触贴膜机ATW-08规格参数:
晶圆尺寸     4”&5”&6”&8”晶圆;
晶圆厚度     300~750微米;
胶膜种类     蓝膜或者UV膜;
                  宽度:120~240毫米;
                  长度:100米;
                  厚度:0.05~0.2毫米;
贴膜原理     防静电滚轮贴膜;
贴膜动作     自动拉膜和贴膜;
装卸方式     晶圆手动放置与取出;
防静电控制  防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
晶圆定位    通用标线/弹簧销钉;
控制单元    基于PLC控制,并带5.7”触摸屏;
安全防护    配置紧急停机按钮;
电源电压    相交流电220V,10A;
压缩空气    5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;
机器外壳    白色喷塑金属外壳;
体积           560毫米(宽)*880毫米(深)*500毫米(高);
净重           80公斤;







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